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RTP快速退火炉

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    商品简述:NBD T系列高温快速热处理退火炉简称RTP。

该产品采用国际先进制造工艺,造型新颖结构合理;

目前已被各种试样实验多次验证,并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域;



该系统主要用于:

1.可满足离子注入后的快速退火;

2.也可用于欧姆接触快速合金;

3.还可用于硅化物合金退火,氧化物生长;

4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。

该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6



RTP快速退火炉主要技术参数

型 号 *高

温度 *快升温速率

℃/S 管 径 处理晶片 加热区 恒温区±2℃ 外形尺寸mm 功率 重 量

(内)mm 尺寸 in 长度mm 长度mm 长 高 深 Kg(约)

NBD-HR1200-110IT-170 1200℃ 500 103 4″ 200 120 800 540 750 AC380V15kw 4

 
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